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    镀膜半片自动化上下料机
    产品说明:

    扩散 &LP 自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中, 并将工艺后硅片插回花篮的设备。

    设备特性:

    1. 结构设计合理,产能高,尺寸小

    2. 吸盘板采用碳纤维材质,不易变形,质量更轻,机器人寿命更久

    3. 舟定位夹紧力可参数调节,是否到位可反馈报警

    4. 高握持力皮带减少皮带跑偏,柔性覆膜减少皮带印

    5. 上料具有半片补片功能,杜绝因单轨缺片导致的大饼片

    产品参数:
    参数 参数值
    产能 14000半片/小时
    碎片率 ≤0.03%
    EL不良 ≤0.03%
    正常运行时间 98.5%